油封式真空泵即旋片式真空泵，一般為真空機組的前級真空泵。這種泵是在60~100℃范圍內(nèi)把各種不同的混合氣體壓縮到大氣壓并排放到排氣管中。如果泵內(nèi)危害性產(chǎn)物的壓力、濃度、溫度都比較高，這些物質在泵及泵的附件內(nèi)積存起來這些物質在排氣管道內(nèi)同周圍空氣相接觸等等，都會構成潛在的危險。
半導體制造使用或產(chǎn)生的有害氣體，必須采取合適的測量方法，以防止著火和爆炸，保證設備的正常運行，防止操作人員、維修人員及服務人員發(fā)生急性或慢性中毒。為了安全起見，應配備抽力足夠大的合適真空泵和附件，并要求采用合理的操作和維護方法，配備適當?shù)谋O(jiān)控裝置。
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