鍍膜室內(nèi)分成三個(gè)區(qū)域:①以蒸發(fā)源為中心的蒸發(fā)區(qū);②以感應(yīng)線圈為中心的離化區(qū);③以基體為中心的離子加速區(qū)和離子到達(dá)區(qū)。通過分別調(diào)節(jié)熱發(fā)源功率，感應(yīng)線圈的射頻激勵(lì)功率，基體偏壓等，可以對(duì)三個(gè)區(qū)域進(jìn)行獨(dú)立的控制，從而有效地控制沉積過程.改善了鍍層的物性。
射頻離子鍍除了可以制備高質(zhì)量的金屬薄膜外.還能鍍制化合物薄膜和合金薄膜。鍍化合物薄膜采用活性反應(yīng)法。在反應(yīng)離子鍍合成化合物薄膜和用多蒸發(fā)源配制合金膜時(shí).精確調(diào)節(jié)蒸發(fā)源功率.控制物料的蒸發(fā)速率是十分重要的。
在感應(yīng)線圈射頻激勵(lì)區(qū)中.電子在高頻電場(chǎng)作用下做振蕩運(yùn)動(dòng).延長(zhǎng)了電子到達(dá)陽極的路徑.增加了電子與反應(yīng)氣體及金屬蒸氣碰掩的概率.這樣可提高放電電流密度。正是由于高頻電場(chǎng)的作用，使著火氣體壓強(qiáng)降低到10-3~10-1Pa，即叮在高真空中進(jìn)行高頻放電.因而以電子束加熱蒸發(fā)源的射頻離子鍍.不必設(shè)置差壓板。
