近年來，發(fā)現(xiàn)用機(jī)械真空泵和擴(kuò)散泵抽氣的真空系統(tǒng)，由于它有微足的油蒸汽返流入被抽容器或器件中，使許多電子器件的性能和技術(shù)指標(biāo)受到嚴(yán)重影響。例如，電子管的氧化物陰極，因油蒸汽而降低其發(fā)射性能和壽命，各種大功率高電壓電子管，因油蒸汽的存在而容易電擊穿;廣播電臺用的耐高壓真空電容，因泊蒸汽的存在而顯著降低其耐壓指標(biāo)，油蒸汽在許多地方，產(chǎn)生顯著的不利影響。因此，用于這些方面的真空系統(tǒng)，要求改用無油真空系統(tǒng)來代替，即不使用用真空油密封和用真空油作工作液的抽氣工具(如機(jī)械泵、擴(kuò)散泵)，而采用靠對氣體分子吸附作用，降低容器內(nèi)壓強(qiáng)的吸附泵和欽泵來獲得所需的真空。
吸附泵是利用某些固體物質(zhì)的多孔性表面，在冷狀態(tài)下對氣體的強(qiáng)烈吸附作用，而使封閉系統(tǒng)獲得10-2毫米水銀柱的低真空的，它是用作無油系統(tǒng)的前級。

吸附泵所用的吸附物質(zhì)，一般除可用活性碳外，大多使用分子篩(人造沸石)來吸附氣體，獲得真空。因?yàn)�，�?dāng)用液氮冷卻后，每一公斤的分子篩，能把50-100升的容器從大氣抽成10-2毫米水銀柱的真空，所以，它是一種吸氣泛很大的泵，而它在經(jīng)過400℃左右的烘烤后，其所吸的氣體就又重新放出(叫做活化或再生)，恢復(fù)再吸氣的能力。目前常用的5A分子篩(吸收容量大，適合排空氣，但需經(jīng)常“活化，，其平均孔徑約為5埃)和13X分子篩(其吸附容且雖比5A分子篩小，但能吸收油蒸汽分子)。