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增壓泵(羅茨泵)在真空電子束焊機(jī)的應(yīng)用



在真空電子束焊機(jī)中,真空系統(tǒng)還常采用羅茨泵作為增壓泵進(jìn)行差級(jí)抽氣。羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子容積分子抽氣機(jī),除了容積作用外,還應(yīng)用了分子抽氣機(jī)的工作原理。

在高的壓力下,由于氣體的平均自由路徑比間隙小,排出的氣體會(huì)大量地返回,所以真空泵不能很好地工作,為使這種真空泵能夠正常工作,一般用旋片式機(jī)械泵作為前置真空泵。

當(dāng)前置泵出口處的壓力降到100Pa左右時(shí),羅茨泵開始工作,其最大抽氣速率出現(xiàn)在1.33Pa時(shí),這時(shí)氣體的平均自由路徑顯著地超過了間隙的寬度,大大增加了返回氣體的流阻,而且它的進(jìn)氣壓力與出口的前置真空壓力成直線關(guān)系。

羅茨泵在1.33×10-2~1.33Pa壓力范圍內(nèi)有很高的抽速,可達(dá)40000L/S,能迅速排出突然放出的氣體。在這一壓力范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵的抽速已經(jīng)很小了,而油擴(kuò)散泵則剛剛開始工作,因此這兩種泵在抽氣速率上的脫節(jié),可在其問加一級(jí)羅茨真空泵來解決,因此又稱它為增壓泵。

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