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真空泵氣體微流量表靜態(tài)比擬法

發(fā)布時間：2013-12-23 標簽：

真空泵要是出現(xiàn)真空漏孔該怎么進行校準呢？下面小編就為大家介紹一種氣體微流量表靜態(tài)比擬法，想了解的朋友來了解一下吧。
　　首先順次將真空漏孔流出的氣體QL和氣體微流量表流出的氣體Q，別離引人到一個真空室中，再經(jīng)過限流孔被真空泵抽走，比擬它們在真空室中產(chǎn)生的靜態(tài)失調(diào)壓力輸入信號(別離為HL和Hs)，而后用式劃算出真空漏孔的漏率。
　　其實這種方式還是比較簡單的，大家要是可以的話不妨就試試哦，相信會對大家有幫助的。
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